隨著功率半導體器件的發展，半導體設備的發展也不斷興起。國家重要會議提出，到 2035 年要實現高水平科技自立自強。從半導體設備行業的國產替代角度而言，目前我國在核心半導體設備方面的替代空間巨大，同時技術提升也十分迫切，這對行業內公司來說既是機遇也是挑戰。

航裕電源功率半導體測試解決方案主要針對功率半導體器件測試和半導體設備供電兩大方向，提供多種測試方案，滿足不同測試需求。

本文主要講解功率半導體設備供電部分。

航裕電源致力于為功率半導體設備提供便捷高效可控的智能可編程電源，助力集成系統設備完成各項測試工作。

青銅劍功率器件動態特性高效測試系統選用航裕電源

對于整機設備供電來說，首先電源的體積不易太大，要能與設備匹配連接，并滿足設備的測試用電需求。航裕電源多年來與青銅劍、華潤微電子、眾硅、威宇佳等半導體整機設備企業用戶溝通合作，發現根據產品情況的不同，對產品參數的需求變化也很大。目前，高壓電源依然占據市場的主要需求份額。

以功率器件測試系統一體設備來說，測試電源需要滿足以下幾點需求：

■ 輸出電壓最大達到10kV

■ 保持穩定運行時間達到8小時

■ 精度在±1級以上

■ 電壓值從0到額定值連續可調

更多要求參數可參見行標：GB/T 5226.33-2017  機械電氣安全 機械電氣設備 第33部分：半導體設備技術條件

以離子注入機為例，所需求的電壓更遠遠高于功率器件測試一體設備。參見行標：EJ/T 647-1994  金屬用工業離子注入機，其中描述供電電壓需求達到100kV，高壓絕緣測試對電壓的要求高達150kV。

產品選擇

1高壓類供電電源

選用電源：

■ HY-HV系列可編程高壓直流電源

■ HY-HVL系列線性高壓直流電源

電源對比

2集成類便攜電源

選用電源：

■HY-S系列1U超薄可編程直流電源

■HY-G系列1U半寬超薄可編程直流電源

■HY-Z系列便攜式可編程直流電源

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