在晶體生長爐與等靜壓石墨材料的生產中,溫度控制是決定產品質量與生產效率的核心環節。紅外測溫儀作為高溫工藝的“眼睛”,其性能的長期穩定性與可靠性直接關乎晶體純度、石墨性能一致性等關鍵指標。近年來,隨著國產紅外測溫技術的突破,這一領域正經歷從依賴進口到自主可控的深刻變革。
長期穩定性與可靠性對工藝的影響
晶體生長爐對溫度控制有著較高的需求。在單晶硅、藍寶石等高端晶體材料的生長過程中,爐內溫度梯度的精準控制是避免晶體缺陷的關鍵。例如,硅單晶生長爐的溫度需穩定在1500℃以上,且局部波動需控制在±1℃以內。爐內溫度長期穩定性不足可能導致溫控漂移,引發晶體缺陷(如位錯、孿晶),成品率下降;如果紅外測溫儀可靠性差(如鏡頭污染、元件老化),極易引發突發故障,導致爐體停機和材料報廢。
而在等靜壓石墨材料領域,石墨化爐內溫度均勻性決定了材料的導電性與機械強度。國產石墨化爐企業曾面臨兩難選擇:采用進口測溫設備雖能保證2800℃高溫下的測量精度,但設備成本占整爐造價15%以上;若選用早期國產設備,雖成本降至1/3,卻因粉塵干擾導致溫度誤判率高達7%,造成每年近萬噸石墨材料因局部過燒而報廢。
由于石墨化爐中溫度均勻性直接影響石墨的密度、強度和熱導率,因此,爐內控溫是等靜壓石墨材料生產中的關鍵一環。而紅外測溫儀需在復雜工況(粉塵、氣體干擾)下連續工作數年,若測溫儀失準,可能導致石墨化不充分或局部過燒,產品批次一致性下降,高端應用(半導體、核能)的石墨材料合格率降低。
因此,進口紅外測溫儀曾長期占據主導地位,但其高昂的成本與漫長的售后周期成為行業痛點。
這種困境正在倒逼國產技術加速迭代,新一代國產紅外測溫儀通過多光譜融合技術,將抗粉塵干擾能力提升至進口設備的90%,同時將高溫標定誤差壓縮至±0.8℃,使得石墨灰分含量穩定控制在200ppm以下,達到半導體級應用標準。
國產化進程的機遇與挑戰
目前,國產紅外測溫儀在硬件層面相比國外品牌差距已逐漸縮小,國產傳感器(如InGaAs探測器)已接近國際水平,在高溫標定技術、抗干擾算法和光學鏡頭耐污染性及散熱設計等方面仍需進一步優化。在軟件層面,部分國產設備已經開始集成AI溫度補償模型,其長期數據和算法魯棒性還有待驗證和提升。
在石墨材料領域,精準控溫可使等靜壓石墨灰分含量從300ppm降至100ppm以下,滿足半導體級應用需求。在穩定性、可靠性以及校準間隔有效提高后,可減少停機時間,單爐年產能有望提升5%~8%。
從成本上來看,紅外測溫儀國產替代后可令成本大幅下降,從而使晶體爐和石墨化爐設備整體成本下降;從供應鏈安全方面來看:規避進口設備交貨周期長、售后響應慢的風險,保障產能穩定性;而從定制化能力上看,國產廠商可針對石墨材料生產的特殊需求(如超高溫段監測)快速開發定制方案。
國產設備若實現高穩定性,可助力晶體生長爐的控溫精度提升至±0.5℃,減少微缺陷密度,推動8英寸向12英寸硅片升級。另外,國產化替代降低了設備投資門檻,可加速新建產線投運。例如,石墨化產能有望從2023年的40萬噸/年增至2025年的60萬噸/年。
這場技術迭代正在重構產業鏈生態。據中國電子材料行業協會數據,2023年國產紅外測溫儀在晶體生長領域的滲透率已從五年前的12%提升至41%,帶動單晶硅設備投資成本下降18%,石墨化產能年復合增長率達24%。更為重要的是,國產設備廠商與下游用戶的深度綁定,也將催生出需求導向的創新模式。
未來建議
展望未來,國產紅外測溫技術的進階之路仍需跨越兩大門檻:一是建立覆蓋設備全生命周期的可靠性驗證體系,包括制定符合ASTM E2847標準的10年加速老化測試方案;二是突破高溫黑體輻射源標定裝置等核心工藝裝備的自主化。在技術協同攻關方面,推動測溫儀廠商與下游用戶(如晶體廠、石墨企業)共建測試平臺,針對性優化高溫抗干擾、多光譜融合等關鍵技術。